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3DCMEMS対応スプレーコーター（生産終了）

スプレーコーター（立体面レジスト塗布装置）3DC

3dc

（改良のため仕様・意匠は変更されることがあります）

概要

本装置はマイクロマシン(MEMS)および各種半導体デバイス研究用に開発されたスプレーコーターです。特殊なカスタムスプレーノズルの採用で薬液の微細粒子化が可能になりスピンコーターレベルの薄膜を初め、重ね塗りによる従来困難だった超厚膜までのコーティングに対応します。

サブストレート上の傾斜面や溝、台形部の頂点といった従来のスピンナーで塗布が困難であった部分にも均一な膜を形成できます。また試料固定に真空吸着を使用せずスルーホール基板にも対応します。

特徴

サブストレート上の傾斜面や溝部にも薬剤を均一にコーティングできます。

Clariant社AZ-P4000、MicroChem社SU-8などの超厚膜用レジストをはじめ、ベンゾシクロブテン樹脂(BCB)、各種ポリマー等に対応します。（希釈が必要）

自動回転式試料台で複数面のコーティングが可能です。また試料台の交換により各種サイズ・形状の試料に対応します。

スプレーノズルの角度や高さが調整できます。

最小限の薬液でコーティングでき、スピンコーティングのような無駄がありません。また加圧タンク内に小形容器を入れることで少量のレジストでもスプレー可能です。

スプレーブースはステンレス製でブース内はダウンフローシステムです。

ブース天板部の脱着で清掃が容易。ブーススライドドアは透明でスプレー状態を観察できます。

試料通過経路にホットエアカーテンを2ヶ所設置。ブース内の温度コントロールもできます。

試料予熱ヒーティングプレートを装備しており予め試料の加熱ができます。

スプレー状態の事前確認ができるテスト噴霧スイッチ付き。

独立したレジストタンクと溶剤タンクを持ち、バルブ切換でレジストラインおよびノズルの洗浄が容易にできます。
（長期間使用しない場合は、レジスト加圧タンクに溶剤をセットしてフラッシングします）

従来のスプレーコーティング装置よりローコストで取り扱いが簡単です。

仕様

  1. 形式 スプレー固定・試料移動型スプレーコーター
    試料の脱着は手動です。
  2. 制御 シーケンサ制御によるセミオート運転
    漏電ブレーカー、サーキットプロテクタ内蔵
    非常停止スイッチ装備（試料移動、スプレー停止）
  3. スプレー方式 加圧タンクによる薬液圧送およびドライエアによるスプレー
    加圧タンクサイズ　1.0リットル×２（レジスト、溶剤）
  4. 対応試料サイズ 最大 150mm角（このサイズは回転できません）
    回転させる場合はφ150mmまでとなります。
    標準サイズはφ100±0.02mmおよびφ150±0.02mmです。
    但しφ150±0.02 mmはオプションとなります。
    標準サイズ以外はカスタム（別途お打ち合わせ）となります。
  5. スプレー機構部 スリットノズル 角度可変式
    　　① レジスト圧力範囲 0.5～5Kg/c㎡（≒bar） 加圧タンク
    　　② スプレーエア圧力範囲 0.5～5Kg/c㎡（≒bar） ドライエア
    　　③ ノズル角度範囲 ±15度
    　　④ ノズル高さ範囲 80～150mm（試料台面から）
    　　⑤ テストスプレー機能 スイッチを押している間スプレーされます
  6. 試料移動部
    　　① 直線移動範囲 約 400 mm（直動全ストローク）
    　　　　送りスピード 0.45～6.9 m/min. （7.5～115 mm/sec.） (50Hz)
    　　② 直動送り機構 タイミングベルトドライブ（ブース仕切りロールシャッター）
    　　③ 回転スピード 15～233 rpm (50Hz)
    　　④ 回転機構 タイミングベルトドライブ
  7. 温度調整部
    　　① ホットエアカーテン 室温 ～ MAX. 100℃ ホットエア発生器
    　　② 試料予熱プレート 室温 ～ MAX. 80℃
  8. 排気ファン 電動ファンにてブース内の下部から排気します。
    　　スプレー運転中は自動停止制御されます。
  9. レジスト粒子径 約10～20μｍ （目標）
  10. ユーティリティ
    　　① クリーンドライエア 5Kg/ｃ㎡（≒bar）程度（空圧チューブ接続口φ6mm）
    　　② 電源 AC100V 1800W
    　　③ 排気 100リットル/分 接続ダクト径 φ100mm
  11. 外形寸法・重量
    　　① 本体 1300×800×800 mm (H×W×D)
    　　　　突起部を含まない概略
    　　② 重量 150Kg 以下

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    ※仕様は改良のため予告なく変更することがあります。

 機種別カタログ（PDFファイル）

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