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特徴
◆ 露光エリアφ4インチ、照度分布±5%以下のインテグレータレンズ方式ランプハウス。
露光シャッターを開かずにランプ光軸調整ができるアークモニタ装備。
オプション項目
4インチ角型試料対応
積算光量計
各種UVバンドパスフィルター/NDフィルターの付加
* DeepUV光源、UV-LED光源などはご相談下さい。
◆ カメラ、モニタ観察の２視野アライメント顕微鏡。
画像表示系は1モニタ＋ワイプ装置 または 2モニタ表示の選択
オプション項目
左右視野間隔30mm以下近接化
同軸落射/リング照明など照明系の選択
顕微鏡光学倍率、被写界深度の選択など
* 試料裏面観察アライメントや赤外線透過観察は別装置にて承ります。
◆ 高精度マニュアルＸＹＺθ軸アライメントステージ。
オプション項目
マスクと試料間のギャップ設定が正確にできるギャップ測長センサー＆表示器。
作業者によらず安定したコンタクト状態のエア駆動式Ｚ軸ステージ
指定荷重、自動ギャップ設定可能なモータードライブ式Ｚ軸ステージ
マスクと試料の密着性を高める試料吹上コンタクト機能など
◆ 最大φ４インチウェハ対応。
オプション項目
試料2サイズ共用試料台、小穴マトリクス配置吸着試料台
高平面度試料台
真空コンタクト試料台
◆ デザインルール 1～3μm。（参考：ご使用条件によります）
◆ コンパクト
標準仕様 ベーシックセットアップ例
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形式 等倍片面露光式マスクアライメント装置
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型名 LA410
- 露光方式 １：１等倍露光、 コンタクトおよびプロキシミティ（手動ダイヤル式）
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適応試料 サイズ 最大 φ４インチ、t=2mm程度
SEMI、JEITA 規格ウェハなど。各サイズとも試料台交換にて対応。
- 適応マスク サイズ 最大 □5インチ（127mm）、t=0.09インチ（3mm）
ガラスサブストレート規格マスクなど。各サイズともマスクホルダ交換にて対応。
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マスクアライメントステージ（マスク固定、ウェハ移動）
Ｘ軸、Ｙ軸 微動・粗動 ハンドル
Ｚ軸 粗動 ダイヤル、微動 微動レバー
Ｚ軸位置測定 測長器 分解能１μｍ（オプション）
θ軸 微動
レベル調整 球面摺動方式 手動 真空吸着固定
- UV光源
光学形式 インテグレータレンズ式
有効露光範囲 φ100ｍｍ
照度均一度 ±5％以内
主波長 λ＝365､405､436nm
使用ランプ超高圧 Hgランプ250Ｗ
放射強度 28ｍＷ／ｃ㎡以上（at 365nm）
露光量設定 タイマー設定
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顕微鏡 カメラ&モニタによる左右２視野アライメント顕微鏡
視野範囲 片視野あたり 1.6×1.2mm
焦点深度 100μｍ以上
観察照明 赤色LED同軸落射照明
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制御
露光量設定 UV光源電源装置の内蔵タイマーによる時間設定
真空制御 マスク、試料、球面摺動部の真空ロックは手動ハンドバルブ
空圧制御 オプションのエア式Ｚ軸、試料吹上コンタクト機能付きの場合は
電磁バルブ制御
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寸法、重量 815(H)×460(W)×540(D)mm * 突起部含まず、約120Kg
- ユーティリティ
電源 AC100V 10A MAX.
真空 26.6 kPa 以上 35リットル/分 以上 * 真空ポンプ（オプション）
ドライエア 不要。
但しオプションのエア式Ｚ軸、試料吹上コンタクト機能付きでは
クリーンドライエアまたは窒素 0.1 MPa以上
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