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マスクアライナー
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多面アライナー(斜光多面同時露光機)LA/BSシリーズ
マスクアライナー LA320 斜光2灯式 試料表面+左右側面露光
BS430 試料側面/裏面露光 3灯式両面同時アライナー
ES20w 試料側面露光マスクアライナー
BA420 斜光2灯裏面観察アライナー
BS620 両面同時露光アライナー(φ6インチ試料対応)
BS425 両面同時露光マスクアライナー(φ4インチ試料対応)