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ES20w 試料側面露光マスクアライナー

MaskAligner LA310kマスクアライナー LA310k

es20w

装置の概要


本装置はフライアイレンズ方式UV光源2灯にて試料表面および左右両側面への露光が可能です。特に水晶などデバイス側面にもパターン露光が必要なプロセスに向けてカスタマイズされています。シンプルな構成でカスタマイズ性に優れ多方面で応用が利くローコストなモデルです。

 仕 様


形式:等倍露光装置
型名:ES20w

露光方式 1:1(等倍)コンタクト露光

試料表面および左右側面への露光実験に対応

適応試料

サイズ 最大φ4インチ(露光エリアはUV光源によって決まります) 厚さ 最大2mm
各サイズとも試料台の交換により対応可能
固定方式 真空吸着固定

適応マスク

サイズ 最大□5インチ
厚さ 0.06インチまたは0.09インチ
各サイズともマスクホルダ等の変更により対応可能
固定方式 真空吸着固定

ランプハウス

光学形式 フライアイレンズ、ダイクロイック楕円ミラー方式
メーカー・型番 三永電機製作所「 UVF-203S + 直射レンズユニットSTU」×2灯
斜光露光対応(水平より50度。左右対称)
使用ランプ 水銀キセノンランプ 200W
照射距離 約140mm
有効露光範囲 縦76.5mm×横76.5mm以上
波長域 λ=365~436nm
放射強度 約 10mW/c㎡以上(at 365nm)
照度均一度 ±10%
ウシオ電機製UIT-101およびセンサλ=365nmにて測定
ランプ冷却方式 強制空冷
露光解像度 ライン&スペース3μm程度(垂直下向き照射の場合)
露光できる最小線幅はご使用になるレジスト・マスク・ウェハおよび露光前工程/後工程等の
諸条件により異なることがあります。
露光量設定 タイマー設定(0.3~99.9秒)単位変更可能
シャッター開閉 ロータリーソレノイド方式
光軸調整 不要(ワンタッチ装着型)
冷却方式 冷却ファンによる強制空冷
電源装置 ランプハウス一体型
消費電力 AC100V 640W 以下(UV光源装置のみ。320W/台)
左右UV照射角度は50度(固定式)

es20w_fig1

アライメント方式 顕微鏡による目視アライメント
マスク位置固定、試料移動型アライメント

顕微鏡 双眼双対物2視野顕微鏡 (3倍率切り替え式)

総合倍率 92.5 185 370
対物レンズ倍率 1.85
接眼レンズ倍率 10
拡大レンズ倍率 5 10 20
視野径 (mm) φ1.8 φ0.9 φ0.45
Cマウント結像倍率 9.25 18.5 37
作動距離WD (mm) 約 51

※左右視野単眼としての横方向サイズは視野径の半分になります。

対物レンズ間距離 8~90mm(公称値)

観察照明 ハロゲンランプ+ファイバーライトガイドによる同軸落射照明
UVカットフィルター Y50イエローフィルターを照明光源に内蔵(レジスト不要露光防止)
CCDカメラ接続 標準装備のCマウントにより接続可能
CCDカメラ、モニタはオプション
顕微鏡支持 自在アーム方式 ポール回転による待避 θ軸微動アライメント付き

マスクアライメントステージ(マスク固定、ウェハ移動)

X軸ストローク ±5mm 手動 微動・粗動
Y軸ストローク ±5mm 手動 微動・粗動
Z軸ストローク 0~4mm 手動 微動・粗動 メカ送り ツマミ操作
0~0.5mm エア駆動 ギャップ調整用レバー操作
θ軸ストローク ±5゜ 手動 微動
レベル(水平)調整 球面摺動機構 真空ロック可能

マスク架台 ヒンジ開閉式

観察位置ステージ
X軸ストローク ±20mm  手動(レバー方式)
Y軸ストローク ±20mm  手動(レバー方式)

顕微鏡移動 自在アーム式移動 手動
フォーカス調整範囲 ±10mm手動

寸法/重量  670(H)×700(W)×600(D)mm以内/80Kg以下

大型ベース
なるべく剛性の高いデスクをご準備下さい。耐荷重200kg以上推奨
ランプ電源装置、真空ポンプ(オプション)などは別置きとなります。
設置スペースを確保願います。

ユーティリティ

  • 電源 AC100V 10A 以下 (UV光源装置込み)
    窒素またはドライエア 5Kg/c㎡程度
    真空 600mmHg以上
    真空ポンプ(真空機工製 DA-30S)はオプション

動作環境

  • 温度範囲 22±3℃
    湿度範囲 50±10%

機種別カタログ(PDFファイル)

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