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マスクアライナー
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片面アライナー(標準的な露光機)LAシリーズ
マスクアライナー EA100 真空コンタクト対応、深紫外光源、小型、多機能
マスクアライナー LA410k 角形100mm試料対応機、高機能
マスクアライナー LA810 φ8インチウェハ、□9インチマスク対応機
マスクアライナー LA610 φ6インチウェハ、□7インチマスク対応機
マスクアライナー LA410 φ4インチウェハ、□5インチマスク対応機、高精度
マスクアライナー ES410 φ4インチウェハ、□5インチマスク対応機、ローコスト