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マスクアライナー LA310 インテグレータ光源搭載の片面露光機

MaskAligner LA310マスクアライナー

la310web12

オプション装着例（右の写真）

装置の概要

本装置は、半導体素子デバイス等フォトリソグラフィーを必要とする研究分野において、高精度のパターン露光ができるマスクアライメント装置です。各機構操作部を手動としたシンプルな構成で、多方面での応用が利くローコストで使い勝手の良いアライナーです。

仕　様

形式：片面等倍露光式マスクアライメント装置
型名：LA310

  • 露光方式 １：１等倍露光
    コンタクト（コンタクト圧調整可）およびプロキシミティ
    ソフト←→ハード連続可変
  • 適応試料
    サイズ 最大 φ3インチ
    厚さ 最大 t=800μm程度
    サイズ変更は試料台の変更により対応します
    固定方式 真空吸着固定
  • 適応マスク：
    サイズ 最大 □4インチ 納品時 □3インチ対応マスクホルダー添付
    厚さ 0.06インチまたは0.09インチ　どちらかご注文時に指定
    サイズ変更はマスクホルダーの変更により対応します
    固定方式 真空吸着固定
  • 露光性能およびランプハウス
    型式 山下電装製 「ハイパーキュア」または「均一君」
    光学形式 インテグレータレンズ方式
    有効露光面積 □50ｍｍ（各種サイズ選択可能）
    照度均一度　 ±3％または±10％以内
    主波長 365、405、436nm
    波長選択フィルター（3波長）を内蔵可能（「均一君」指定時）のみ
    ＵＶ照射強度 約16ｍＷ／ｃ㎡ (at 365nm)
    ウシオ紫外線照度計UIT-101にて測定時
    照射距離 約160ｍｍ
    使用ランプ Hg-Xeランプ 200Ｗ
    山下電装製 UXM-200YA（製造はウシオ電機）
    ランプ平均寿命 約800時間
    露光量設定　 タイマー設定（0.3～99.9秒 分単位にも設定可能）
    シャッター開閉 ロータリーソレノイド方式
    光軸調整 ＸＹＺ３軸調整方式
    露光解像度 ライン＆スペース　１～２μｍ
    ※但し前後工程等の諸条件、使用材料などにより変化します。
    マスクアライナー単体での保証はできません。
    冷却方式 強制空冷
    電源装置 トランジスタスイッチング定電力制御　直流スターター式
    出力電力安定度 ±１％　以内
  • アライメント方式 アライメント顕微鏡による目視アライメント
    ウェハ上面及び上側マスクパターンの同時観察による位置合わせ
  • アライメント顕微鏡 双眼双対物顕微鏡（標準にて下記3種類の倍率切替可能）
    総合倍率 92.5 185 370
    対物レンズ倍率 1.85
    接眼レンズ倍率 10
    拡大レンズ倍率 5 10 20
    視野径 （mm） φ1.8 φ0.9 φ0.45
    Cマウント結像倍率 9.25 18.5 37
    作動距離WD （mm） 約 50

    ・対物レンズ間距離 8～90ｍｍ
    ・観察照明 150Wハロゲンランプ＋ファイバーライトガイドによる同軸落射式照明
    ＵＶカットフィルター：Y44イエローフィルターを照明光源に取付け
    ※観察照明による不要露光防止のため
    ・ＣＣＤカメラ Ｃマウント（標準装備）により接続可能
    ＣＣＤカメラ、モニター等はオプション

  • 顕微鏡移動方式 自在アーム方式
    θ軸ストローク ±7.5゜ 手動
    Ｚ軸（FOCUS調整） ±4ｍｍ 手動
    露光時顕微鏡退避 レバー回転 手動
  • マスクアライメントステージ
    Ｘ軸ストローク ±5ｍｍ 手動（マイクロヘッド）
    Ｙ軸ストローク ±5ｍｍ 手動（マイクロヘッド）
    Ｚ軸ストローク 0～0.5ｍｍ エア駆動　上限リミット設定可能
    コンタクト圧調整可能
    0～4mm メカ駆動 手動（微動・粗動ハンドル付）
    ミツトヨ製測長器 分解能１μｍ (オプション)
    θ軸ストローク ±7゜ 手動　微動
    ±30゜ 手動　通常固定
    レベル調整 球摺動機構 真空ロック付（試料-マスク間平行出し用）
    マスクホルダー露光窓 □50ｍｍ
  • 観察位置ステージ (ウェハ-マスクをアライメントしたまま観察位置のみ移動する)
    Ｘ軸ストローク ±25mm　 手動（レバー方式）
    Ｙ軸ストローク ±25mm　 手動（レバー方式）
  • 寸法／重量 1580(H)×800(W)×600(D)mm以内　／　300Kg 以下
  • ユーティリティ
    真空 600mmHg以上
    真空ポンプ（真空機工製 DA-60D）はオプション
    窒素またはドライエア 5Kg/c㎡以上
    電源　 AC100V 8A MAX. 100V以外は変圧器使用
  • 動作環境
    温度範囲 25±2℃
    湿度範囲 50±10%　但し結露なきこと。

保証規定

検収後１ヶ年または動作時間5000時間のいずれか短期の方を保証期間とし、不具合・故障が生じた場合は無償修理といたします。但し、天災および取扱い不注意、仕様外の環境・使用条件、消耗により発生した事項はこの限りではありません。

また、一般購入品は各製造メーカーの保証範囲のみといたします。

出荷条件

立会い検査場所：当社にて
出荷検査内容　：当社規定による

１．機能の検査 露光ランプ動作、真空吸着動作、ステージ動作、その他各部
２．一般事項の検査 装置外観、形状、寸法、構造、操作盤の銘板表示、騒音、振動、表面処理
３．露光照度測定 仕様を満足すること

納入時提出書類

検査成績表 １部(当社内立会い検査結果)
取扱い説明書 １部(保守部品明記)

特殊仕様・オプションなど（必要に応じてご選択下さい）

・ 41万画素CCDカメラ1台、9インチモノクロモニタ1台
・ 波長選択フィルター365nm、405nm、436nm用（ランプハウス内に装着）
・ 積算光量制御
・ ギャップ測長器