MaskAligner LA310マスクアライナー |
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装置の概要 本装置は、半導体素子デバイス等フォトリソグラフィーを必要とする研究分野において、高精度のパターン露光ができるマスクアライメント装置です。各機構操作部を手動としたシンプルな構成で、多方面での応用が利くローコストで使い勝手の良いアライナーです。 |
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仕 様 形式:片面等倍露光式マスクアライメント装置
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保証規定 検収後1ヶ年または動作時間5000時間のいずれか短期の方を保証期間とし、不具合・故障が生じた場合は無償修理といたします。但し、天災および取扱い不注意、仕様外の環境・使用条件、消耗により発生した事項はこの限りではありません。 また、一般購入品は各製造メーカーの保証範囲のみといたします。 |
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出荷条件 立会い検査場所:当社にて 1.機能の検査 露光ランプ動作、真空吸着動作、ステージ動作、その他各部 |
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納入時提出書類 検査成績表 1部(当社内立会い検査結果) |
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特殊仕様・オプションなど(必要に応じてご選択下さい) ・ 41万画素CCDカメラ1台、9インチモノクロモニタ1台 |