| MaskAligner LA310sマスクアライナー |
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装置の概要
本装置は、半導体素子デバイス等フォトリソグラフィーを必要とする研究分野において、各種パターン露光ができるマスクアライメント装置です。簡易的な露光を目的とする用途に向いています。シンプルな構成で、多方面で応用が利くローコストなモデルです。
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仕 様
形式：等倍片面露光式マスクアライメント装置
型名：LA310s
- 露光方式 １：１等倍露光
コンタクト（コンタクト圧調整可）およびプロキシミティ
※オプション：空圧供給が必要となります
- 適応試料：
サイズ 最大φ3インチ ご注文時にお知らせ下さい
厚さ 最大１ｍｍ
各サイズとも試料台等の変更により対応可能
固定方式 真空吸着式
※特殊形状試料に適合する試料台を製作承ります
- 適応マスク：
サイズ 最大□4インチ ご注文時にお知らせ下さい
厚さ 0.06インチまたは0.09インチから選択
各サイズともマスクホルダ等の変更により対応可能
固定方式 真空吸着式
※特殊形状マスクに適合するマスクホルダを製作承ります
- 露光性能およびランプハウス
光学形式 コリメータレンズ固定式
照射距離 約200ｍｍ
有効露光範囲 φ80ｍｍ
照度均一度 ±15％
主波長 λ＝365、405、436nm
使用ランプ 超高圧Ｈｇランプ250Ｗ ウシオ製 USH-250
放射強度 約13ｍＷ／ｃ㎡以上（at 405nm）ウシオUIT-101にて測定
ランプ冷却方式 強制空冷
露光解像度 ライン＆スペース2μｍ程度
露光できる最小線幅はご使用になるレジスト・マスク・ウェハ・露光前工程／後工程等の諸条件により異なることがあります。
露光量設定 タイマー設定（０.３～９９.９秒）
シャッター開閉 ロータリーソレノイド方式
光軸調整 ＸＹＺ３軸調整方式
冷却方式 冷却ファンによる強制空冷
電源装置 トランジスタスイッチング定電力制御 直流スターター式
出力電力安定度 ±１％ 以内
消費電力 AC100V 15A MAX.（露光ランプ電源のみ）
- アライメント方式 実体顕微鏡による目視アライメント
ウェハ上面及び上側マスクパターンの同時観察による位置合わせ
- 観察顕微鏡 オリンパス製 実体顕微鏡SZ4045-2（標準）
※オプション：機種変更可能ＵＶカットフィルター イエローフィルターを照明光源に取り付け
観察照明による不要露光防止のため
- マスクアライメントステージ（マスク固定、ウェハ移動）
Ｘ軸ストローク ±5ｍｍ 手動（微動・粗動ハンドル付）
Ｙ軸ストローク ±5ｍｍ 手動（微動・粗動ハンドル付）
Ｚ軸ストローク ０～４ｍｍ 手動（微動・粗動ハンドル付）
Ｚ軸ストローク ０～０.５ｍｍ エア駆動 上限リミット設定可能
※オプション コンタクト圧調整可能
θ軸ストローク ±７゜ 手動 微動
±３０゜ 手動 通常固定
レベル調整 球面摺動方式 手動 真空吸着式固定（真空ポンプ使用時のみ）
マスクホルダ露光窓 約φ80ｍｍ φ3インチウェハ（□4インチマスク）時
- 観察位置ステージ ※オプション
Ｘ軸ストローク ±２０ｍｍ 手動（レバー方式）
Ｙ軸ストローク ±２０ｍｍ 手動（レバー方式）
- 顕微鏡移動 自在アーム式移動 手動
フォーカス調整範囲 ±10mm 手動
- 寸法／重量 520(H)×680(W)×720(D)mm以内 ／ 200Kg 以下
- ユーティリティ
電源 AC100V 16A MAX.
真空 600mmHg以上 真空ポンプ 真空機工製 DA-30D推奨
窒素またはドライエア ５Kg/c㎡以上
- 動作環境
温度範囲 ２５±２℃
湿度範囲 ５０±１０％
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保証規定
検収後１ヶ年または動作時間5000時間のいずれか短期の方を保証期間とし、不具合・故障が生じた場合は無償修理といたします。但し、天災および取扱い不注意、仕様外の環境・使用条件、消耗により発生した事項はこの限りではありません。また、一般購入品は各メーカーの保証範囲のみといたします。
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出荷条件
立会い検査場所：当社にて
出荷検査内容 ：下記当社規定による
１．機能の検査 露光ランプ動作、真空吸着動作、ステージ動作、その他各部
２．一般事項の検査 装置外観、形状、寸法、構造、操作盤の銘板表示、騒音、振動、表面処理
３．露光照度測定 仕様を満足すること
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納入時提出書類
検査成績表 １部（当社内立会い検査結果）
取扱い説明書 １部（保守部品明記）
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特殊仕様・変更追加リスト
真空ポンプなどオプション類は含まれません。
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