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LA310s ローコストなデスクトップ型片面露光機

MaskAligner LA310sマスクアライナー

la310s

装置の概要


本装置は、半導体素子デバイス等フォトリソグラフィーを必要とする研究分野において、各種パターン露光ができるマスクアライメント装置です。簡易的な露光を目的とする用途に向いています。シンプルな構成で、多方面で応用が利くローコストなモデルです。

仕 様


形式:等倍片面露光式マスクアライメント装置
型名:LA310s

  • 露光方式 1:1等倍露光
    コンタクト(コンタクト圧調整可)およびプロキシミティ
    ※オプション:空圧供給が必要となります
  • 適応試料:
    サイズ 最大φ3インチ ご注文時にお知らせ下さい
    厚さ 最大1mm
    各サイズとも試料台等の変更により対応可能
    固定方式 真空吸着式
    ※特殊形状試料に適合する試料台を製作承ります
  • 適応マスク:
    サイズ 最大□4インチ ご注文時にお知らせ下さい
    厚さ 0.06インチまたは0.09インチから選択
    各サイズともマスクホルダ等の変更により対応可能
    固定方式 真空吸着式
    ※特殊形状マスクに適合するマスクホルダを製作承ります
  • 露光性能およびランプハウス
    光学形式 コリメータレンズ固定式
    照射距離 約200mm
    有効露光範囲 φ80mm
    照度均一度 ±15%
    主波長 λ=365、405、436nm
    使用ランプ 超高圧Hgランプ250W ウシオ製 USH-250
    放射強度 約13mW/c㎡以上(at 405nm)ウシオUIT-101にて測定
    ランプ冷却方式 強制空冷
    露光解像度 ライン&スペース2μm程度
    露光できる最小線幅はご使用になるレジスト・マスク・ウェハ・露光前工程/後工程等の諸条件により異なることがあります。
    露光量設定  タイマー設定(0.3~99.9秒)
    シャッター開閉 ロータリーソレノイド方式
    光軸調整 XYZ3軸調整方式
    冷却方式 冷却ファンによる強制空冷
    電源装置 トランジスタスイッチング定電力制御 直流スターター式
    出力電力安定度 ±1% 以内
    消費電力 AC100V 15A MAX.(露光ランプ電源のみ)
  • アライメント方式 実体顕微鏡による目視アライメント
    ウェハ上面及び上側マスクパターンの同時観察による位置合わせ
  • 観察顕微鏡  オリンパス製 実体顕微鏡SZ4045-2(標準)
    ※オプション:機種変更可能UVカットフィルター イエローフィルターを照明光源に取り付け
    観察照明による不要露光防止のため
  • マスクアライメントステージ(マスク固定、ウェハ移動)
    X軸ストローク ±5mm 手動(微動・粗動ハンドル付)
    Y軸ストローク ±5mm 手動(微動・粗動ハンドル付)
    Z軸ストローク 0~4mm 手動(微動・粗動ハンドル付)
    Z軸ストローク 0~0.5mm エア駆動 上限リミット設定可能
    ※オプション コンタクト圧調整可能
    θ軸ストローク ±7゜ 手動 微動
    ±30゜ 手動 通常固定
    レベル調整 球面摺動方式 手動 真空吸着式固定(真空ポンプ使用時のみ)
    マスクホルダ露光窓 約φ80mm φ3インチウェハ(□4インチマスク)時
  • 観察位置ステージ ※オプション
    X軸ストローク ±20mm  手動(レバー方式)
    Y軸ストローク ±20mm  手動(レバー方式)
  • 顕微鏡移動 自在アーム式移動 手動
    フォーカス調整範囲 ±10mm 手動
  • 寸法/重量 520(H)×680(W)×720(D)mm以内 / 200Kg 以下
  • ユーティリティ
    電源  AC100V 16A MAX.
    真空 600mmHg以上 真空ポンプ 真空機工製 DA-30D推奨
    窒素またはドライエア 5Kg/c㎡以上
  • 動作環境
    温度範囲 25±2℃
    湿度範囲 50±10%

保証規定


検収後1ヶ年または動作時間5000時間のいずれか短期の方を保証期間とし、不具合・故障が生じた場合は無償修理といたします。但し、天災および取扱い不注意、仕様外の環境・使用条件、消耗により発生した事項はこの限りではありません。また、一般購入品は各メーカーの保証範囲のみといたします。

出荷条件


立会い検査場所:当社にて
出荷検査内容 :下記当社規定による

1.機能の検査 露光ランプ動作、真空吸着動作、ステージ動作、その他各部
2.一般事項の検査 装置外観、形状、寸法、構造、操作盤の銘板表示、騒音、振動、表面処理
3.露光照度測定 仕様を満足すること

納入時提出書類


検査成績表  1部(当社内立会い検査結果)
取扱い説明書 1部(保守部品明記)

特殊仕様・変更追加リスト


真空ポンプなどオプション類は含まれません。