MaskAligner LA310sマスクアライナー |

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装置の概要
本装置は、半導体素子デバイス等フォトリソグラフィーを必要とする研究分野において、各種パターン露光ができるマスクアライメント装置です。簡易的な露光を目的とする用途に向いています。シンプルな構成で、多方面で応用が利くローコストなモデルです。
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仕 様
形式:等倍片面露光式マスクアライメント装置
型名:LA310s
- 露光方式 1:1等倍露光
コンタクト(コンタクト圧調整可)およびプロキシミティ
※オプション:空圧供給が必要となります
- 適応試料:
サイズ 最大φ3インチ ご注文時にお知らせ下さい
厚さ 最大1mm
各サイズとも試料台等の変更により対応可能
固定方式 真空吸着式
※特殊形状試料に適合する試料台を製作承ります
- 適応マスク:
サイズ 最大□4インチ ご注文時にお知らせ下さい
厚さ 0.06インチまたは0.09インチから選択
各サイズともマスクホルダ等の変更により対応可能
固定方式 真空吸着式
※特殊形状マスクに適合するマスクホルダを製作承ります
- 露光性能およびランプハウス
光学形式 コリメータレンズ固定式
照射距離 約200mm
有効露光範囲 φ80mm
照度均一度 ±15%
主波長 λ=365、405、436nm
使用ランプ 超高圧Hgランプ250W ウシオ製 USH-250
放射強度 約13mW/c㎡以上(at 405nm)ウシオUIT-101にて測定
ランプ冷却方式 強制空冷
露光解像度 ライン&スペース2μm程度
露光できる最小線幅はご使用になるレジスト・マスク・ウェハ・露光前工程/後工程等の諸条件により異なることがあります。
露光量設定 タイマー設定(0.3~99.9秒)
シャッター開閉 ロータリーソレノイド方式
光軸調整 XYZ3軸調整方式
冷却方式 冷却ファンによる強制空冷
電源装置 トランジスタスイッチング定電力制御 直流スターター式
出力電力安定度 ±1% 以内
消費電力 AC100V 15A MAX.(露光ランプ電源のみ)
- アライメント方式 実体顕微鏡による目視アライメント
ウェハ上面及び上側マスクパターンの同時観察による位置合わせ
- 観察顕微鏡 オリンパス製 実体顕微鏡SZ4045-2(標準)
※オプション:機種変更可能UVカットフィルター イエローフィルターを照明光源に取り付け
観察照明による不要露光防止のため
- マスクアライメントステージ(マスク固定、ウェハ移動)
X軸ストローク ±5mm 手動(微動・粗動ハンドル付)
Y軸ストローク ±5mm 手動(微動・粗動ハンドル付)
Z軸ストローク 0~4mm 手動(微動・粗動ハンドル付)
Z軸ストローク 0~0.5mm エア駆動 上限リミット設定可能
※オプション コンタクト圧調整可能
θ軸ストローク ±7゜ 手動 微動
±30゜ 手動 通常固定
レベル調整 球面摺動方式 手動 真空吸着式固定(真空ポンプ使用時のみ)
マスクホルダ露光窓 約φ80mm φ3インチウェハ(□4インチマスク)時
- 観察位置ステージ ※オプション
X軸ストローク ±20mm 手動(レバー方式)
Y軸ストローク ±20mm 手動(レバー方式)
- 顕微鏡移動 自在アーム式移動 手動
フォーカス調整範囲 ±10mm 手動
- 寸法/重量 520(H)×680(W)×720(D)mm以内 / 200Kg 以下
- ユーティリティ
電源 AC100V 16A MAX.
真空 600mmHg以上 真空ポンプ 真空機工製 DA-30D推奨
窒素またはドライエア 5Kg/c㎡以上
- 動作環境
温度範囲 25±2℃
湿度範囲 50±10%
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保証規定
検収後1ヶ年または動作時間5000時間のいずれか短期の方を保証期間とし、不具合・故障が生じた場合は無償修理といたします。但し、天災および取扱い不注意、仕様外の環境・使用条件、消耗により発生した事項はこの限りではありません。また、一般購入品は各メーカーの保証範囲のみといたします。
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出荷条件
立会い検査場所:当社にて
出荷検査内容 :下記当社規定による
1.機能の検査 露光ランプ動作、真空吸着動作、ステージ動作、その他各部
2.一般事項の検査 装置外観、形状、寸法、構造、操作盤の銘板表示、騒音、振動、表面処理
3.露光照度測定 仕様を満足すること
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納入時提出書類
検査成績表 1部(当社内立会い検査結果)
取扱い説明書 1部(保守部品明記)
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特殊仕様・変更追加リスト
真空ポンプなどオプション類は含まれません。
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