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2022年06月13日

BA200(φ8インチ試料対応)、BAS200(200mm角試料対応)

試料裏面観察マスクアライナー
BA200  φ8インチ試料対応機    BAS200 □200mm試料対応機

 

BA200 φ8インチ試料対応

 

BAS200 □8インチ試料対応

選択オプションにより一部仕様が異なります。

 BAシリーズは従来の片面露光装置では困難な試料表裏パターンの精密な位置合わせが可能なマニュアル操作のマスクアライメント装置です。本装置では試料の第1面に予め形成されたアライメントマークに対して、その対面(第2面)の指定された位置にマスクパターンを位置決め、露光できます。通常の片面露光マスクアライナーとしても使用できMEMS、発光デバイス、通信デバイス、発振デバイスなど両面露光プロセスを幅広く支援します。


◆高解像度4視野カメラ顕微鏡およびタッチ操作対応ディスプレイ。
◆左右対物レンズ間隔最小 36mmで小型試料のアライメントに対応。
◆試料交換の容易なフロントスライド式アライメントステージ。
◆フローティング機能付き球面摺動レベル調整機構。
◆インテグレータレンズ方式 500W 高精度高効率ランプハウス。
◆各種オプション 多孔質ポーラス試料台、静電チャック、積算光量計、UV波長フィルター、Z軸ギャップ測長器など
◆お客様ご要望に合わせ各種カスタム対応承ります。


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