MA100 フィルム-ガラス試料紫外線硬化型接着アライナー

 製品概要

本装置は表面に微小な構造物のあるフィルム、ガラスとシリコン、金属といった試料２枚を高精度で位置合わせし、密着させる機能を有する試料アライメント装置です。

２枚の試料を上下に配置させ、固定基準の上側試料に対して下側の試料をＸＹＺθ軸方向にアライメントさせる方式です。搭載された双対物2視野顕微鏡は左右対物レンズを最小8～最大90ｍｍまで調整でき小型試料もアライメントすることが可能です。
試料接合面同士の平行を調整する機構を持ち、接合面同士の近接動作は微動が可能です。

またコンタクト圧はエアシリンダによって調整が可能です。上側試料外周部付近をお客様の試料に合わせてオープンな構造にでき、紫外線硬化型接着剤などを用いて2枚の試料の仮固定が行えます。

本装置では上面からのみの観察になりますのでアライメントできるのは上面から下側試料のアライメントマークが観察できる上下試料の組み合わせとなります。（上側試料が透明または穴あき）

 仕様

・最大試料サイズ φ4インチ（上下とも） ｔ＝1000μm程度まで
・上下試料着脱方法 取り付け取り外し手動
・上下側試料支持 真空吸着固定
　※フィルム試料時はダミーガラス（Pyrex製）上側試料台を使用
・試料仮固定 紫外線硬化型接着剤等を滴下・塗布
・試料交換 上側試料台のヒンジ開閉による
・顕微鏡 双眼双対物2視野顕微鏡（3倍率切替式）

総合倍率 92.5 185 370 （Ｃマウント倍率 9.25 18.5 37）

視野径（ｍｍ） φ1.8 φ0.9 φ0.45
　※左右視野単眼としての横方向サイズは視野径の半分になります。

対物レンズ間距離 8～90ｍｍ

観察照明 ファイバーライトガイドによる同軸落射照明

ＣＣＤカメラ接続 標準装備のＣマウントにより接続可能
・Ｘ､Ｙ軸ストローク ±5ｍｍ 粗動・微動ハンドル
θ軸ストローク ±3゜微動ツマミ
Ｚ軸ストローク 0～4ｍｍ　メカ送り粗動・微動ハンドル
0～0.5（0.25）mm エア駆動（シリンダストローク） 微動レバー
　※Ｚ軸測長器（オプション）

平行出し 下側試料台下に球面摺動機構を装備真空ロック
・コンタクト圧調整 エアシリンダによる圧力調整
・ユーティリティ 真空600ｍｍＨｇ以上　試料（上下）・球面固定用

空圧3Kg/c㎡程度試料ハードコンタクト用
真空ポンプおよび空圧ポンプはオプション

電源 ＡＣ100Ｖ　5Ａ　ポンプは除く

・外形寸法 幅460×奥行540×高さ680mm（制御ボックス別置）
　※紫外線スポット光源装置、石英ファイバーはオプションとなります。

 機種別カタログ（PDFファイル）

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