BS320両面同時露光機の標準 【生産終了につきBS425をご参照下さい】

BS320u 二次露光以降も両面同時に露光可能 【生産終了につきBS425をご参照下さい】

BS620 両面同時露光アライナー（φ6インチ試料対応）

BS425 両面同時露光マスクアライナー（φ４インチ試料対応）