両面スピンナー用 側面チャック式ヘッドSCAの解説

概要・特徴

SCAシリーズはナノテック両面同時コートスピンナーSC300Aに使用する回転ヘッドです。従来のように真空吸着を使用せずウェハの外周部を3～4点接触にて支持する方式のため、今まで不可能だったスルーホール付き試料でもスピンコートすることができます。使用する試料の大きさや形状に合わせて多くのタイプがあり、特殊な形状に対応するカスタムメイドも承っております。
本チャック機構を用いて試料裏面非接触のスピンナーやスルーホール内側面の現像を可能にするデベロッパーなど様々な応用が考えられます。

 共通仕様

・試料チャック方式 試料外周部3～4点接触支持（手動：真空不要）
・チャック開閉方式 スプリングチャック方式または偏芯コマ方式
・チャックコマ連動 全コマ同期スライドまたは自由スライドにて開閉
・本体取付部 両面スピンナーSC300A回転シャフトに適合
・耐用回転数 最大2500rpm 開閉コマロック状態にて約4000rpm
・材質 アルミ、真鍮、ポリアセタール、ステンレス
・表面処理 テフロン及びクローム
・対応試料サイズ φ15～75mm （レジスト粘度15CPの場合）
※レジスト粘度が高い場合は小径試料のみ対応となります

《試料のチャック方式には下記の2種類があります》

【回転チャック方式：偏芯コマ】

1. 開閉コマには切り欠き部分があり、試料を脱着するときはコマを回転させて切り欠き部分を中心方向へ向けます。
2. ヘッドを回転させるときは開閉コマを回転させて切り欠き部分を外側へ向けます。開閉コマは回転軸に対して偏芯しており、この回転操作により回転コマは試料側へ近寄っていき試料をロックします。

【スライドチャック方式：同期スライドまたは自由スライド】

1. 回転ヘッド外周部にあるレバー操作によりコマが開きます。手を離すとスプリングで閉じます。
2. ロックネジを回してチャックコマをロックすることができます。
3. 仕様例（お客様に合わせたカスタマイズが可能です）

【試料が長方形の場合】
・対応試料サイズ 縦Ａ、横Ｂとも15～50mm

短径・長径（ｍｍ） 対応試料径φ（ｍｍ） ストローク(mm)
φ2.5インチ 14～54 15～50 20

1. セラミックなどの角形試料に使用できます。
2. スルーホール付き試料の片面コーティングなどにも使用できるヘッドです。

【試料が正方形の場合】
・対応試料サイズ Ａ=Ｂ=15～50mm

【試料が丸(SEMI規格)の場合】
・対応試料サイズ φＡ=φ20～75mm

1. 一般的なSEMI規格ウェハのコーティングに使用できます。
2. HDD用ディスクなどのコーティングにも使用できます。この場合、スピンナー本体を改造してディスク中心部から斜め上下方向にレジストを吹き付ける方式が選択でき、より効率・精度の良いコーティングが期待できます。

ヘッド側面図

【試料が不定形の場合】
・φ2.5インチ Ｄシェイプの場合 φＡ=φ1～3インチ程度

注意事項

ヘッドを回転させる前にロックネジが確実に締まっていることを確認してください。締め方が不十分ですと回転中に試料が外れ、大変危険です。

回転中は安全のためにスピン部のカバーを締めてください。

ヘッド回転スピードには十分ご注意ください。コーティング前には必ず回転試験を行ってください。振動・異音などがある時には使用を中止してください。耐用回転数2500rpm以下でも試料重量や偏芯などの状況によってトラブルの原因になることがあります。

清掃はなるべくこまめに行ってください。テフロンコーティング部分にはレジストが固着しませんがチャックコマなど他の部分はレジストが固着します。ヘッドは浸け置き・丸洗いが可能です。

本製品使用によるケガ、機器・試料の破損などのトラブルについて当社は一切責任を負えません。ヘッド回転中はスピン部カバー（カップ被い）や保護メガネなどの十分な対策をし、注意して作業してください。

対応試料サイズは使用するレジスト粘度により左右されます。レジスト粘度が高い場合（最大30cp程度）は試料裏面外周部までレジストが行き渡らないことがあります。またこれは試料形状にも影響されます。

レジストコーティング作業中は有機溶剤など人体に有害な物質のガス雰囲気になりやすいですから、十分換気できるように作業環境を整えて下さい。

試料厚みが極端に薄い場合、スプリングチャックの力を弱める必要があります。ご相談下さい。

保　　証

 検収後１年間（稼働８時間以内／日として）を保証期間とします。

 装置の取扱い、保守を正しくおこなっている状態で故障があった場合、無償にて修理・交換いたします。

 購入品については購入品メーカーの保証範囲とします。

その他

お客様のご要求に合わせたヘッドおよびスピンナー・デベロッパー本体を設計製作いたします。お気軽にご相談下さい。

レジスト粘度（30cp程度以下）に対応します。これ以上の粘度の場合は裏面のレジストが試料全面に行き渡らないなどコーティング困難な場合があります。