SC300A　業界初の両面同時コーティングスピンナー

概要・特徴

本装置は半導体試料（ウェハ）の表裏両面にレジストを均一に塗布する機能をする手動ハンドリングタイプのスピンコーターです。従来機では片面ずつおこなっていたレジストの塗布を両面同時に行い、プリベーク等の後処理や塗布後経過時間の差など両面で不均一になる要素を排除できます。また、両面同時処理によりベーク等の付帯処理も一度に行えるため、フォトリソグラフィープロセス全体の作業時間も従来の半分以下になります。標準でレジストディスペンサーを装備し表裏異なった塗布量を設定できます。コンパクトにデザインされた本体・レジストディスペンサーは設置床面積の省スペース化を考慮しています。

 仕　様

1. 構成
   スピンナー本体、レジストディスペンサー
   レジスト加圧タンク（上下各１）
2. 試料支持　　 水平支持、水平回転
3. 試料操作 取り付け取り外し手動
4. 適用試料サイズ φ２～3インチ　厚さ100～500μm
   スピンナーヘッドの交換により試料サイズ変更に対応
5. スピンナーヘッド部 異形試料対応３点または4点チャック式　真空不要
6. 対応レジスト粘度 35cp以内
7. ヘッド回転数 100～4000rpm　無負荷状態にて
   ※スピンナーヘッドのチャック強さにより最高回転数が制限されます。
8. タイマー制御 1秒～999時間
   ２段プリセット
9. レジストディスペンサー Ｎ２加圧式定量滴下装置
   スピンスタートＳＷに連動
10. レジスト量設定 上下独立タイマー制御、マニュアル滴下も可能
    ※吐出圧力も上下独立設定可能
11. ノズル部機構　 上部　手動型スイングアーム
    下部　固定型　ヘッド軸下に配置
    試料下面との高さ調整可能。吹付角度・範囲変更はノズル交換にて対応。
12. レジストタンク ステンレス製　容量1000cc　上下独立式
    レジスト容器を収納可能
    ※レジスト容器の外形寸法をご指定下さい
13. 制御 モーター及びディスペンサー連動シーケンス制御
    コーティング工程は自動
14. 排気 全周均一排気方式　本体後部のφ49排気口に接続可
15. 材質 スピンカップ　ステンレス製　約φ300mm
    本体外装 ステンレス製
    レジスト飛散部、ノズル部は洗浄が容易な取り外し式
16. カバー 透明塩ビ製
17. ユーティリティ
    排気用真空 工場排気に接続
    Ｎ２ 3Kg/c㎡ レジスト加圧タンク接続用
    電源 AC100V 10A
18. 外形寸法 別紙図面参照
19. 環境条件 温度　15～35℃
    湿度　20～80% ただし結露しないこと

処理工程概略

※低速回転数・時間、高速回転数・時間、上下レジスト滴下時間及び元圧は予めセットしておきます。

《シーケンスの動作フロー》

1. 手動操作にて試料をチャックにセット
   ↓
2. スイングアーム（上側ノズル）を試料上へ移動。
   ↓
3. スタートＳＷオン（シーケンス動作開始）
   ↓
4. １ｓｔ回転数スタート（設定パラメータ：回転数、回転時間）
   ↓
5. レジストディスペンサーオン（設定パラメータ：上下レジスト塗布時間、元圧）
   ↓
6. ２ｎｄ回転数スタート（設定パラメータ：回転数、回転時間）
   ↓
7. 停止（シーケンス動作終了）
   ↓
8. ウェハ取り出し（手動）

保　　証

検収後１年間（稼働８時間以内／日として）を保証期間とします
装置の取扱い、保守を正しくおこなっている状態で故障があった場合、無償にて修理、交換いたします。
但し購入品については購入品メーカーの保証範囲とします。

その他・備考

ディスペンサーノズル、ロード・アンロードの自動化をオプションにて準備。