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大型スピンナー SC408
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製品概要
SC408は半導体素子デバイスのフォトリソグラフィー基礎研究分野向けに開発されたプログラム制御式スピンナーです。試料の対応範囲を広く取り、φ8インチウェハ対応の高精度レジストコーティング機能と使い易いレイアウトがコンパクトにまとめられています。
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特徴
・最大φ8インチウェハ対応
・ 8段階プログラマブルコントロール
・ 最大16パターン記憶
・ローコスト
・コンパクト
・カスタマイズヘッドにより異形試料に対応
・耐薬品,清掃性に優れたオールステンレス製外装
・ 全周平均排気方式の排気ダクト装備
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仕様
- 適用試料サイズ 最大φ8インチ
標準（φ4インチ程度）ウェハ用ヘッド１個が付属します
※ご注文時にサイズをご指定下さい。
スピンナーヘッドの交換により試料サイズ変更に対応
異形試料用カスタムヘッドの製作も別途承ります
- カップ径 約φ400mm
- ヘッド回転数 ０～5000 rpm ※回転ヘッドサイズ等により変化します
- 回転制御 8段階プログラマブル制御 全行程LCD表示
ディスペンサー（オプション）制御兼用
任意のステップにて停止が可能です
- パターンメモリ 最大16パターン記憶可能 液晶タッチパネル
- 回転精度 ±1 rpm デジタル表示
- 試料チャック確認 真空ゲージ及び圧力センサー 低真空時エラーストップ
- 排気 全周平均排気方式
- 筺体材質 SUS304製（本体、パネル、カップ）
- ユーティリティ
真空 500mmHg以上 真空ゲージ付き
電源 電源 3相 ＡＣ200Ｖ 4Ａ 最大
- 外形寸法 450 Ｗ × 460 Ｄ × 450 Ｈ ｍｍ
奥行き方向：後部に排気ダクトパイプ 30mm、前部にパネル 70mm
- 環境条件 温度 10～35℃
湿度 20～80％ ただし結露しないこと
- その他 透明塩ビ製安全カバー（手動開閉）を装備
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オプション
- 飛散防止 カップ内側面からのレジスト反射を押さえます
- 中心合わせ治具 回転ヘッドの中心に試料をセットするための治具
- ディスペンサー 試料上へレジスト液を滴下する装置（別途ドライエアが必要）
- 温調器 レジスト液をノズル先端まで温度調節する装置
- カップ内テフロンコーティング
- 真空ポンプ 試料吸着用真空ポンプ
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保 証
検収後１年間（稼働８時間以内／日として）を保証期間とします。
装置の取扱い、保守を正しくおこなっている状態で故障があった場合、無償にて修理いたします。
但し購入品については購入品メーカーの保証範囲とします。
保証期間後は故障時出張見積もり作業等有償となります。お得な保守サービス契約があります。
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その他・備考
- 本仕様は今後のお打ち合わせにより変更されることがあります。
- 最終のお見積りは仕様細部の決定後提出となります。
- 製作・評価時に御社試料サンプルが必要となります。ご貸与願います。
- 検収仕様等は当社検収チェックリストによります。
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