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PA400 マイクロコンタクトプリンター

Micro Contact Printer PA400

pa400

装置の概要

本装置は、ハーバード大学のG.Whitesidesによって提唱された「マイクロコンタクトプリンティング(micro contact printing)」法に対応するマイクロコンタクトプリンター装置です。マイクロコンタクトプリンティング法は急速に展開してきた有機エレクトロニクス分野で次世代デバイス製造法として注目を集めています。
ＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）スタンプを取り付け、試料上にセルフアセンブル膜を転写することができます。また一般的なコンタクト方式マスクアライナーとしてもご使用頂けますので、スタンプマスターの製作なども可能です。各機構操作部を手動としたシンプルな構成で、多方面での応用が利くローコストで使い勝手の良い装置です。

仕　様

プリント形式 Ｗステーション方式

  1. アライメント/コンタクト ステーション（手前側：手動）
  2. スタンプ台（インク補充） ステーション（奥側：手動）
  3. スタンプ移動部 手前側←→奥側へ前後スライド（手動）

アライメント機構概要

Ｚ軸微動ネジおよびエアシリンダコンタクト方式
可動軸 ＸＹＺθφ（平行）軸 オプションにてミツトヨ製 Ｚ軸高さ測長器 分解能１μｍ

スタンプ台機構概要

Ｚ軸微動ネジおよびエアシリンダコンタクト方式
可動軸 Ｚφ（平行）軸 オプションにてミツトヨ製 Ｚ軸高さ測長器 分解能１μｍ
※スタンプ-試料の強制剥離に対応

適応試料（手前下側）

サイズ 最大 □4インチ 厚さ 最大 t=500μm程度
※1注意 露光エリアは紫外線照射径・ホルダー開口部寸法により制限されます。

適応スタンプ（上側：マスクアライナー時は適応マスク）

サイズ 最大 □4インチ 厚さ 0.06インチまたは0.09インチ ※1

適応スタンプ台（後方下側）

サイズ 最大 □4インチ 厚さ 最大 t=500μm程度 ※１

  • ※１ 試料搭載面またはスタンプ台ホルダとスタンプ（マスク）取付面との距離は5.5mmです。
    試料またはスタンプ台とスタンプ（マスク）の厚み合計が最大で5mm程度であれば使用可能です。

露光方式

１：１等倍露光 コンタクト（コンタクト圧調整可）およびプロキシミティ

露光性能およびランプハウス

光学形式 コリメータレンズ方式 ウシオ電機製 250Ｗ Hgランプ USH-250Ｄ
有効露光面積 約φ80ｍｍ 照度均一度 ±15％以内 ＵＶ照射強度 約13ｍＷ/ｃ㎡ (at 405nm)

アライメント方式

双対物CCD&モニタ観察顕微鏡による目視アライメント
総合倍率 9インチ時 約100倍（モニタサイズによる）
光学レンズ倍率 4倍 視野範囲 横 約1.6（2分割時0.8） × 縦 約1.2mm
※2CCDの映像を1モニタに映すため横の視野は半分になります。
観察照明 高輝度赤色LEDによる同軸落射式照明
対物レンズ間距離 20～80ｍｍ X軸（横）方向

寸法／重量

670(H)×460(W)×540(D)mm以内 ／ 300Kg 以下
ランプハウス、顕微鏡のスイング時は本フットプリントからオーバーします。
制御ボックス、ランプハウス電源は別置きです。

ユーティリティ

真空 600mmHg以上
窒素またはドライエア 5Kg/c㎡以上
電源 AC100V 8A (最大)

 機種別カタログ（PDFファイル）

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