製品情報 > 簡易マスク作製機

研究室向け簡易マスク作製機

研究室向け簡易マスク作製機
1/5縮小露光フォトマスク作製機
MM605

mm605

(改良のため仕様・意匠は変更されることがあります)

各種半導体・MEMS微小構造物製作のためにはフォトマスクが欠かせません。特に大学・研究所においては多種のマスクが必要となります。本装置は研究室レベルで簡単にフォトマスクを作製するための装置です。お手持ちのグラフィックソフトやCADシステム等でプリントした図面をOHPフィルムにコピーしマスク原版として使用します。
MM605では特別に設計された光学系でマスク原版を高精度に1/5縮小投影し、エマルジョンマスクを作ります。今まで外部委託に頼っていたマスク製作をお手元で手軽に安価で作る事ができます。改変の多い研究には特にお勧めです。デザインも縦型スタイルで設置スペースをとりません。

仕様


縮小レンズ部

  • 倍  率 0.2倍
    撮像寸法 59.4×59.4mm
    視野寸法 297×297mm
    物体距離 1195.5mm
    物体間距離 1455.5mm
    実行F値 (像側) 5.487(物側) 27.317
    分 解 能 (像側) 3.017μm
    (λ=550nm) (物側) 15.024μm
    周辺光量 95.19%
    TV dist -0.0263%

照明部

  • 蛍 光 灯 30w 3本
    光 調 整 可
    光 強 度 (max) 1215Lx ~ (min) 749Lx
    光 分 布 1.004%

露光タイマー

  • 99.9Sec(0.1Sec)

電  源

  • 100V 3A 50/60Hz

外形寸法

  • 610×610×1975mm

重  量

  • 約80kg

 

※仕様は改良のため予告なく変更することがあります。

 機種別カタログ(PDFファイル)


この製品のPDFカタログ


PDFファイルのダウンロード方法

  1. 「この製品のpdfカタログ」上にマウスポインタを合わせて右クリックします。
  2. ショートカットメニューの中から「対象をファイルに保存」を左クリックします。
  3. 「ファイル名を付けて保存」ダイアログボックスで任意の保存場所を指定し、ファイル名を付けて「保存」をクリックします。
  4.  3.で指定した保存場所にダウンロードしたファイルがコピーされます。

※「この製品のPDFカタログ」を左クリックするとブラウザ内でカタログを表示します。

PDFファイルを見るためには、アドビシステムズ社のAcrobat Readerが必要です。
最新版は下記からダウンロードできます。

getacro