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マスクアライナー LA410o φ4インチウェハ、□5インチマスク対応機、2モニタ

MASK ALIGNER LA410o

・φ4インチウェハ、□5インチマスク対応機

・高精度インテグレータレンズ方式UVランプハウス搭載

・2視野カメラ、2モニタ観察

LA410o仕様書