BA100（超小型～φ4インチ試料対応）

BA200（φ8インチ試料対応）、BAS200（200mm角試料対応）

マスクアライナー BA420　斜光2灯 試料裏面観察アライメント

BA100i（φ４インチ試料対応） *生産終了

BA160（φ6インチ試料対応）*生産終了

BA100 片面ずつ試料表裏に露光可能 *生産終了