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裏面アライナー(逐次両面露光機)BAシリーズ
BA200(φ8インチ試料対応)、BAS200(200mm角試料対応)
マスクアライナー BA420 斜光2灯 試料裏面観察アライメント
BA100i(φ4インチ試料対応)
BA160(φ6インチ試料対応)
BA100 片面ずつ試料表裏に露光可能