BA200（φ8インチ試料対応）、BAS200（200mm角試料対応）

マスクアライナー BA420　斜光2灯 試料裏面観察アライメント

BA100i（φ４インチ試料対応）

BA160（φ6インチ試料対応）

BA100 片面ずつ試料表裏に露光可能