試料裏面観察マスクアライナー BA100
BAシリーズは従来の片面露光装置では困難な試料表裏パターンの精密な位置合わせが可能なマニュアル操作のマスクアライメント装置です。
本装置では試料の第１面に予め形成されたアライメントマークに対して、その対面（第２面）の正確な位置にパターン露光できます。通常の片面露光マスクアライナーとしても使用できMEMS、発光デバイス、通信デバイス、発振デバイスなど両面露光プロセスを幅広く支援します。
アライメント顕微鏡の左右対物レンズが近接可能で小型試料のアライメントに対応します。上側顕微鏡で通常の表面アライメントの場合、左右間隔8～100mmで超小型試料に対応します。下側顕微鏡の裏面アライメントの場合でも左右間隔15～100mmで20mm程度の小型試料に対応可能です。
メガピクセル対応のアライメント光学系、ピンチイン/アウト操作可能なタッチパネルディスプレイや真空コンタクト機能を搭載しています。
◆高解像度4視野カメラ顕微鏡およびタッチ操作対応ディスプレイ。
◆左右対物レンズが近接可能で小型試料のアライメントに対応。
（左右視野間隔最小 上側顕微鏡 8mm、下側顕微鏡 15ｍｍ）
◆試料交換の容易なフロントスライド式アライメントステージ。
◆フローティング機能付き球面摺動レベル調整機構。
◆インテグレータレンズ方式 250W 高精度高効率ランプハウス。
◆真空コンタクト、試料吹上コンタクト
◆各種オプション（各種カスタマイズ応需）
ポーラスカーボン試料台、静電チャック、積算光量計、UV波長選択フィルターなど
◆お客様ご要望に合わせ各種カスタム対応承ります。