マスクアライナー EA100　真空コンタクト対応、深紫外光源、小型、多機能

マスクアライナー LA410k　角形100mm試料対応機、高機能

マスクアライナー LA810　φ8インチウェハ、□9インチマスク対応機

マスクアライナー LA610　φ6インチウェハ、□7インチマスク対応機

マスクアライナー LA410　φ4インチウェハ、□5インチマスク対応機、高精度

マスクアライナー ES410 φ4インチウェハ、□5インチマスク対応機、ローコスト