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製品紹介 > マスクアライナー >

片面アライナー(標準的な露光機)LAシリーズ

マスクアライナー EA100 真空コンタクト対応、深紫外光源、小型、多機能


マスクアライナー LA410k 角形100mm試料対応機、高機能


マスクアライナー LA810 φ8インチウェハ、□9インチマスク対応機


マスクアライナー LA610 φ6インチウェハ、□7インチマスク対応機


マスクアライナー LA410 φ4インチウェハ、□5インチマスク対応機、高精度


マスクアライナー ES410 φ4インチウェハ、□5インチマスク対応機、ローコスト


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