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マスクアライナー LA410 φ4インチウェハ、□5インチマスク対応機、高精度

MaskAligner LA410マスクアライナー

写真はベーシックセットアップ例

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概要


LA410は露光面積最大φ4インチまでの高精度パターン露光装置です。インテグレータレンズ方式ランプハウスを搭載し照度分布±5%以下、良好な光束平行度(CHA 2.5°、DA 1.5°)を実現しました。

顕微鏡、アライメントステージなど主要構成ユニットの選択カスタマイズや積算光量計、UV波長選択フィルターなどのオプションも多数ご選択頂けます。

シンプルな構成で多方面で応用が利くベーシックなセットアップから特殊用途に対応する高カスタマイズまで幅広く対応可能です。ご相談下さい。

特徴


◆ 露光エリアφ4インチ、照度分布±5%以下のインテグレータレンズ方式ランプハウス。
露光シャッターを開かずにランプ光軸調整ができるアークモニタ装備。
オプション項目
4インチ角型試料対応
積算光量計
各種UVバンドパスフィルター/NDフィルターの付加
* DeepUV光源、UV-LED光源などはご相談下さい。

◆ カメラ、モニタ観察の2視野アライメント顕微鏡。
画像表示系は1モニタ+ワイプ装置 または 2モニタ表示の選択
オプション項目
左右視野間隔30mm以下近接化
同軸落射/リング照明など照明系の選択
顕微鏡光学倍率、被写界深度の選択など
* 試料裏面観察アライメントや赤外線透過観察は別装置にて承ります。

◆ 高精度マニュアルXYZθ軸アライメントステージ。
オプション項目
マスクと試料間のギャップ設定が正確にできるギャップ測長センサー&表示器。
作業者によらず安定したコンタクト状態のエア駆動式Z軸ステージ
指定荷重、自動ギャップ設定可能なモータードライブ式Z軸ステージ
マスクと試料の密着性を高める試料吹上コンタクト機能など

◆ 最大φ4インチウェハ対応。
オプション項目
試料2サイズ共用試料台、小穴マトリクス配置吸着試料台
高平面度試料台
真空コンタクト試料台

◆ デザインルール 1~3μm。(参考:ご使用条件によります)

◆ コンパクト

標準仕様 ベーシックセットアップ例


  • 形式 等倍片面露光式マスクアライメント装置
  • 型名 LA410
  • 露光方式 1:1等倍露光、 コンタクトおよびプロキシミティ(手動ダイヤル式)
  • 適応試料 サイズ 最大 φ4インチ、t=2mm程度
    SEMI、JEITA 規格ウェハなど。各サイズとも試料台交換にて対応。
  • 適応マスク サイズ 最大 □5インチ(127mm)、t=0.09インチ(3mm)
    ガラスサブストレート規格マスクなど。各サイズともマスクホルダ交換にて対応。
  • マスクアライメントステージ(マスク固定、ウェハ移動)
    X軸、Y軸 微動・粗動 ハンドル
    Z軸 粗動 ダイヤル、微動 微動レバー
    Z軸位置測定 測長器 分解能1μm(オプション)
    θ軸 微動
    レベル調整 球面摺動方式  手動 真空吸着固定
  • UV光源
    光学形式 インテグレータレンズ式
    有効露光範囲 φ100mm
    照度均一度 ±5%以内
    主波長 λ=365、405、436nm
    使用ランプ超高圧 Hgランプ250W
    放射強度 28mW/c㎡以上(at 365nm)
    露光量設定 タイマー設定
  • 顕微鏡 カメラ&モニタによる左右2視野アライメント顕微鏡
    視野範囲 片視野あたり 1.6×1.2mm
    焦点深度 100μm以上
    観察照明 赤色LED同軸落射照明
  • 制御
    露光量設定 UV光源電源装置の内蔵タイマーによる時間設定
    真空制御 マスク、試料、球面摺動部の真空ロックは手動ハンドバルブ
    空圧制御 オプションのエア式Z軸、試料吹上コンタクト機能付きの場合は
    電磁バルブ制御
  • 寸法、重量 815(H)×460(W)×540(D)mm * 突起部含まず、約120Kg
  • ユーティリティ
    電源 AC100V  10A  MAX.
    真空 26.6 kPa 以上 35リットル/分 以上 * 真空ポンプ(オプション)
    ドライエア  不要。
    但しオプションのエア式Z軸、試料吹上コンタクト機能付きでは
    クリーンドライエアまたは窒素 0.1 MPa以上
外観図 ベーシックセットアップ例