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仕 様
形式：等倍露光装置
型名：ES20ｗ
露光方式 １：１（等倍）コンタクト露光
試料表面および左右側面への露光実験に対応
適応試料
サイズ 最大φ4インチ（露光エリアはUV光源によって決まります） 厚さ 最大2ｍｍ
各サイズとも試料台の交換により対応可能
固定方式 真空吸着固定
適応マスク
サイズ 最大□5インチ
厚さ 0.06インチまたは0.09インチ
各サイズともマスクホルダ等の変更により対応可能
固定方式 真空吸着固定
ランプハウス
光学形式 フライアイレンズ、ダイクロイック楕円ミラー方式
メーカー・型番 三永電機製作所「 UVF-203S ＋ 直射レンズユニットSTU」×２灯
斜光露光対応（水平より50度。左右対称）
使用ランプ 水銀キセノンランプ 200Ｗ
照射距離 約140ｍｍ
有効露光範囲 縦76.5mm×横76.5ｍｍ以上
波長域 λ＝365～436nm
放射強度 約 10ｍＷ／ｃ㎡以上（at 365nm）
照度均一度 ±10％
ウシオ電機製UIT-101およびセンサλ=365nmにて測定
ランプ冷却方式 強制空冷
露光解像度 ライン＆スペース3μｍ程度（垂直下向き照射の場合）
露光できる最小線幅はご使用になるレジスト・マスク・ウェハおよび露光前工程／後工程等の
諸条件により異なることがあります。
露光量設定 タイマー設定（０.３～９９.９秒）単位変更可能
シャッター開閉 ロータリーソレノイド方式
光軸調整 不要（ワンタッチ装着型）
冷却方式 冷却ファンによる強制空冷
電源装置 ランプハウス一体型
消費電力 AC100V 640Ｗ 以下（UV光源装置のみ。320Ｗ/台）
左右UV照射角度は50度（固定式）
アライメント方式 顕微鏡による目視アライメント
マスク位置固定、試料移動型アライメント
顕微鏡 双眼双対物２視野顕微鏡 （３倍率切り替え式）
| 総合倍率 |
92.5 |
185 |
370 |
| 対物レンズ倍率 |
1.85 |
| 接眼レンズ倍率 |
10 |
| 拡大レンズ倍率 |
5 |
10 |
20 |
| 視野径 （mm） |
φ1.8 |
φ0.9 |
φ0.45 |
| Cマウント結像倍率 |
9.25 |
18.5 |
37 |
| 作動距離WD （mm） |
約 51 |
※左右視野単眼としての横方向サイズは視野径の半分になります。
対物レンズ間距離 8～90ｍｍ（公称値）
観察照明 ハロゲンランプ＋ファイバーライトガイドによる同軸落射照明
ＵＶカットフィルター Ｙ50イエローフィルターを照明光源に内蔵（レジスト不要露光防止）
ＣＣＤカメラ接続 標準装備のＣマウントにより接続可能
ＣＣＤカメラ、モニタはオプション
顕微鏡支持 自在アーム方式 ポール回転による待避 θ軸微動アライメント付き
マスクアライメントステージ（マスク固定、ウェハ移動）
Ｘ軸ストローク ±5mm 手動 微動・粗動
Ｙ軸ストローク ±5mm 手動 微動・粗動
Ｚ軸ストローク 0～4ｍｍ 手動 微動・粗動 メカ送り ツマミ操作
0～0.5mm エア駆動 ギャップ調整用レバー操作
θ軸ストローク ±5゜ 手動 微動
レベル（水平）調整 球面摺動機構 真空ロック可能
マスク架台 ヒンジ開閉式
観察位置ステージ
Ｘ軸ストローク ±20ｍｍ 手動（レバー方式）
Ｙ軸ストローク ±20ｍｍ 手動（レバー方式）
顕微鏡移動 自在アーム式移動 手動
フォーカス調整範囲 ±10mm手動
寸法／重量 670(H)×700(W)×600(D)mm以内／80Kg以下
大型ベース
なるべく剛性の高いデスクをご準備下さい。耐荷重200kg以上推奨
ランプ電源装置、真空ポンプ（オプション）などは別置きとなります。
設置スペースを確保願います。
ユーティリティ
- 電源 AC100V 10A 以下 （UV光源装置込み）
窒素またはドライエア 5Kg/c㎡程度
真空 600mmHg以上
真空ポンプ（真空機工製 DA-30Ｓ）はオプション
動作環境
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