MA600 試料熱硬化型および紫外線硬化型接着アライナー

 製品概要

本装置はフィルム、ガラスとシリコン、金属といった試料２枚を高精度で位置合わせし、密着させる機能を有する試料アライメント装置です。

２枚の試料を上下に配置させ、上側試料に対して下側試料をＸＹＺθ軸方向にアライメントする方式です。アライメントが完了した上下試料はアライメント状態を保持したままホルダごと取り出せるようになっており、装置外部で各種接着など様々な処理を施すことが可能です。

ホルダは約300℃の耐熱性があり熱硬化型接着剤に対応できます。上側試料ホルダは
紫外線を透過する合成石英製で試料全面に紫外線照射が可能です。
搭載された双対物2視野顕微鏡は左右対物レンズを最小35～最大160ｍｍまで調整でき最大φ6インチ試料に対応します。

試料接合面同士の平行を調整する機構を持ち、微動近接からハードコンタクトまで調整可能です。

試料ホルダ部（上下）をそれぞれマスクホルダ、試料台に交換することによりφ6インチ対応のマスクアライナーとしても使用できます。

本装置では上面からのみの観察になりますのでアライメントできるのは上面から下側試料のアライメントマークが観察できる上下試料の組み合わせとなります。（上側試料が透明または穴あき）

仕様

 対応試料および試料ホルダ

【試料アライメント装置として使用の場合】

• 対応試料サイズ 上下とも最大φ6インチ
  上側試料ホルダ（合成石英製）、下側試料ホルダ（SUS製）

【マスクアライナーとして使用の場合】

• 対応試料サイズ 最大φ6インチ、対応マスクホルダ 最大□7インチ

観察光学系

• 顕微鏡形式 双対物二視野CCDカメラアライメントスコープ
  倍率 9インチモニタ時モニタ上で約130倍（標準）
  対物レンズ間隔 調整式 35～160mm
  観察照明 5Wマイクロハロゲンランプ同軸落射照明
  対物レンズニコンCF IC EPI Plan 5×

アライメントステージ

• 試料セット 手置き
  ＸＹ軸　±５ｍｍ 粗動・微動送りハンドルによる手動
• Ｚ軸　０～10ｍｍ以上 総合ストローク
  ・送りハンドル、微動レバー1（エア上昇）、微動レバー2（ギャップ）
  ※オプションのギャップ測長器使用時分解能1μｍ
• θ軸　　±５゜ 微動約0.42度/回転センター付近
• 上下試料固定 真空吸着式（吸着力調整可能）
  上下試料ホルダ間固定 ネジ留め式（4箇所） （アライメント終了後）

露光性能 ランプハウスウシオ電機製PM25C-165 水銀灯250W

• 有効露光範囲 φ165mm
  露光解像度 ライン＆スペース　約5～10μｍ　（参考値）
  ※露光できる最小Ｌ＆Ｓはご使用のレジスト・マスク・ウェハ、露光前後工程等の
  諸条件により異なることがあります。
  露光主波長 λ=365nm（ｉ線）
  照射均一度 ±5％以下（有効露光エリア全面にて）
  ＵＶ照度 9mW/c㎡以上λ＝365nm、13mW/c㎡以上λ＝405nm
  露光量制御 タイマー式シャッター開閉制御

ユーティリティ

• ドライエア 4Ｋｇ／ｃ㎡以上 空圧チューブ接続口φ6mm
  真空 650mmHg以上 空圧チューブ接続口φ6mm
  電源 AC100V 10A以下

外形寸法・重量

• 1650×1230×750 mm (H×W×D) 突起部含まず
  ※別置きの真空ポンプおよびランプ電源装置の設置場所を確保してください。
  350Kg 以下

 機種別カタログ（PDFファイル）

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