SC200　ローコストスピンナー

特徴

ＳＣ200は半導体素子デバイスのフォトリソグラフィー基礎研究分野向けに開発されたマニュアルスピンナーです。試料の対応範囲を広く取り、φ2インチウェハ対応の高精度レジストコーティング機能と使い易いレイアウトがコンパクトにまとめられています。

・φ2インチウェハ対応
・２ステージ（２段階） スピード・タイム コントロール
・ローコスト
・コンパクト
・カスタマイズヘッドにより異形試料に対応
・耐薬品,清掃性に優れたオールステンレス製外装

仕　様

1. 適用試料サイズ 最大2インチ
   標準SEMI規格ウェハ用ヘッド１個が付属します
   ※ご注文時にご指定下さい。
   スピンナーヘッドの交換により試料サイズ変更に対応
   異形試料用カスタムヘッドも承ります
2. ヘッド回転数 ０～6000ＰＲＭ
   アナログ２段プリセット
3. タイマー制御 0.1秒～999時間
   ２段プリセット
4. 試料チャック確認 真空ゲージによる（低真空時のエラーストップ機能はありません）
5. 排気なし。適時作業環境の換気を行って下さい。
6. 筺体材質 ＳＵＳ３０４製
7. ユーティリティ 真空 ６００ｍｍＨｇ以上
   電源 ＡＣ１００Ｖ　６Ａ最大
8. 外形寸法 250Ｗ×250Ｄ×245Ｈ　ｍｍ
   排気ダクト、操作パネルの突起部を含まず
9. 環境条件
   温度　１０～３５℃
   湿度　２０～８０％　ただし結露しないこと
10. 消費電力 最大６００Ｗ

OPERATION PANEL