SC300標準スピンナー（旧SC610）

特徴

　SC300は半導体素子デバイスのフォトリソグラフィー基礎研究分野向けに開発されたマニュアルスピンナーです。試料の対応範囲を広く取り、φ５インチウェハ対応の高精度レジストコーティング機能と使い易いレイアウトがコンパクトにまとめられています。

・φ５インチウェハ対応
・２ステージ スピードコントロール
・ローコスト
・コンパクト
・カスタマイズヘッドにより異形試料に対応
・耐薬品,清掃性に優れたオールステンレス製外装
・全周平均排気方式の排気ダクト装備

仕　様

1. 適用試料サイズ 最大φ５インチ（φ１２５ｍｍ）（受注時指定）
   ＳＥＭＩ規格ウェハ用ヘッド（φ4インチまで）
   １サイズは標準添付
   スピンナーヘッドの交換により試料サイズ変更に対応
   異形試料用カスタムヘッドも承ります
2. カップ径 φ３００ｍｍ
3. ヘッド回転数 0～6000RPM
4. 回転制御 ２段プリセット
5. タイマー制御 ０.１秒～９９９時間 （時間単位選択）
6. 試料チャック確認 真空ゲージ及び圧力センサー　低真空時エラーストップ
7. 排気 全周平均排気方式
8. 筺体材質 ＳＵＳ３０４製
9. ユーティリティ 真空 ６００ｍｍＨｇ以上
   電源 ＡＣ１００Ｖ　６Ａ最大
10. 外形寸法 ３５０Ｗ×３６０Ｄ×２７５Ｈ　ｍｍ
    排気ダクト、操作パネルの突起部を含まず
11. 環境条件 温度　１０～３５℃
    湿度　２０～８０％　ただし結露しないこと
12. 消費電力 最大６００Ｗ
13. オプション
    飛散防止：カップ内壁面からのレジスト跳ね返りを防ぎます
    カップカバー：樹脂製のフタです
    非常停止カバー：ヒンジ開閉式のカバーで回転中にあけると非常停止します
    レジストディスペンサー
    真空ポンプ

OPERATION PANEL