二次元結晶積層装置 MA100tm
概要
2004年、二次元シート状原子層が実現されて以来（2010年ノーベル賞）、二次元結晶積層による新材料開発が注目を集めています。ヘテロ接合による複合原子積層材料は超伝導、発光、磁気センスなど従来ない様々な特性を獲得することが知られています。
基板温調による有機樹脂の接着力変化を利用し、グラフェン、二硫化モリブデン、六方晶窒化ホウ素などの二次元結晶をシリコン基板上に順次積層するドロップオフ積層やシリコン基板上に形成された二次元結晶を有機樹脂に順次積層していくピックアップ積層に対応するフルマニュアル操作のコンパクトな研究開発支援装置です。
お客様ご要望に合わせて各種カスタマイズも承ります。
* 開発協力：東京大学生産技術研究所 特任准教授 増渕覚先生
特徴
◆ 高解像ズーム式顕微鏡。観察位置ステージおよびスライド待避付き。
◆ ＸＹＺθ軸精密アライメントステージ。
◆ コンタクト面の平行を調整する球面摺動式試料台。
◆ 1℃単位で最大200℃まで温度設定可能なヒーター試料台。
◆ 試料真空固定式の試料ホルダ（上下）。
◆ 試料交換の容易なヒンジ開閉式上側試料ホルダ。
オプションおよびカスタマイズ
◆ Ｚ軸測長器、真空ポンプ。
◆ ＸＹアライメントステージの電動化。
◆ 試料台角度調整可能なαβゴニオステージ。
◆ ヒーター試料台の強制空冷機能。
* 顕微鏡観察にPCが不要なMA100tsもあります。写真はPCレスタイプのMA100ts
MA100tmカタログ MA100tmカタログ2021
PCレスタイプ
MA100tsカタログ MA100tｓカタログ2022