マスクアライナー LA320　斜光２灯式 試料表面＋左右側面露光

斜光2灯式アライナー　LA320

製品概要

LA320は研究開発から小中ロット製造用に開発された斜光型2灯式マスクアライナーです。本装置では特別に設計された500Wランプハウス（灯具）2基を採用し、照射効率および照度分布に大変優れています。また照射角度が左右35度つけられており、試料露光面段差側面部へ効率よく紫外線を照射することが可能です。

特徴

• 試料側面露光を可能にする2灯式

• デザインルール３μｍ

• 各種形状試料に対応

• コンパクト設計

• フットスイッチにより簡単に操作できるマスク開閉

• モニタ観察アライメントによるイージーオペレーション

仕様

• 適用試料 最大φ4インチ

  納品時ご使用サイズ 
  試料吸着真空溝はご希望形状をご連絡下さい。（ご注文時）

• 適用マスク 最大□5インチ

  納品時ご使用サイズ

• マスク・ウェハサイズ変更

  マスクサイズ変更　→　マスクホルダーの交換による
  ウェハサイズ交換　→　試料台の交換による

• 露光ランプ仕様及び露光性能

  露光方式 ：上側2灯鉛直より左右35度の傾斜下向き照射
  光学形式 ：インテグレータレンズ方式
  有効露光範囲 ：φ100ｍｍ
  照度均一度 ：±5 ％（垂直照射状態にて）
  主波長領域 ：λ＝365～436nm
  使用ランプ ：超高圧Ｈｇランプ500Ｗ ウシオ電機製
  放射強度 ：（単体にて）約65ｍＷ／ｃ㎡以上（at 365nm）ウシオUIT-101
  ランプ冷却方式 ：強制空冷
  露光解像度 ：ライン＆スペース３μｍ（参考値）
  露光できる最小線幅はレジスト・マスク・ウェハ・露光前工程／後工程等の諸条件により異なることがあります。（本装置単体での保証ではありません）

• 露光方式 ：コンタクト方式（コンタクト圧可変式）

  ※ギャップ測長器（分解能１μｍ）はオプション

• 露光量設定 ：左右独立タイマー設定

  設定時間0.3～99.9秒（分解能0.1秒）
  ※積算光量計制御はオプション

• アライメント方式

  双対物２視野顕微鏡による上側マスクパターンとウェハ上面同時観察によるマニュアルアライメント。上側マスク位置基準（固定）-ウェハ移動式アライメント。

• アライメント顕微鏡 双眼双対物CCD&モニタ観察専用顕微鏡

  顕微鏡は株式会社ルミナス製 LWS-2-4-40-P （2台）。

1. ＣＣＤカメラ 1/2インチ41万画素モノクロCCDカメラ
2. モニタ 9インチモノクロモニター  ワイプ装置（2CCD映像→1モニタ出力）
3. Ｚ軸(FOCUS調整) ：±３ｍｍ手動
4. 露光時退避 ：手動
5. Ｙ軸（縦）ストローク ：待避位置まで約200ｍｍ 手動
6. 対物レンズ間距離 ：20～80ｍｍ X軸（横）方向

• マスクアライメントステージ

  Ｘ軸（横） ：±３ｍｍ手動（微動・粗動調整ダイアル）
  Ｙ軸（縦） ：±３ｍｍ手動（微動・粗動調整ダイアル）
  Ｚ軸（上下） ：０～１ｍｍエア駆動方式（コンタクト圧調整レギュレータ付）
  ：０～４ｍｍ手動メカ駆動方式（微動調整付き）
  ※独ハイデンハイン社製ギャップ測長器はオプション
  θ軸 ：±３゜手動（微動）
  平行アジャスト ：球面摺動機構真空ロック
  Ｎ２パージ ：露光部にＮ２パージ　流量計はオプション

• 上側マスク駆動ステージ

  駆動方式 ：モーター駆動による前後スライド方式
  繰返位置決め精度 ：ＸＹＺ方向位置精度±1.5μm以内／１００回

• 顕微鏡移動方式 ：自在アーム式を予定（任意の1ポイントをプリセット可能）
• ウェハ位置決め

  一次露光、二次露光時ともに手置き ※試料位置決めL型ガイドはオプション
  試料固定真空溝形状はご希望形状をご連絡下さい。

• 装置寸法 ：1600×1230×800 mm 以下 (H×W×D 設置必要寸法含む)
• 装置重量 ：320㎏以下
• ユーティリティ

  真空 ：６００ｍｍＨｇ以上　真空ポンプはオプション
  ドライエア ：５㎏／ｃ㎡以上
  窒素 ：１㎏／ｃ㎡程度（Ｎ２パージが必要な場合のみ）
  電源 ：ＡＣ100Ｖ 45Ａ

保　　証

検収後１年間（稼働８時間以内／日として）を保証期間とします。

装置の取扱い、保守を正しくおこなっている状態で故障があった場合、無償にて修理いたします。

但し購入品については購入品メーカーの保証範囲とします。

その他・備考

本仕様は今後のお打ち合わせにより変更されることがあります。
最終のお見積りは仕様細部の決定後提出となります。
製作・評価時に御社試料サンプルおよびマスクガラスが必要となります。ご貸与願います。
検収仕様・納品条件等は別途お打ち合わせとなります。

特殊仕様

UV照度測定用の傾斜台が付属します。

露光ランプの検収条件は以下のように定めます。
左右片方ずつ点灯した状態で傾斜台を使用して光軸に対して垂直な状態で測定。
この場合、照射距離は基準より短くなりますがこの位置での測定値を参考基準にします。

左右対物レンズの最小間隔を20mmまで近づけられるようにします。

顕微鏡観察位置を基準位置（アライメントマーク観察位置：任意に一箇所指定可能）とフリーで切り替えられるようにします。

角形試料の対角アライメントマーク観察機構はオプションです。

試料台上の試料吸着真空溝はご希望形状をご連絡下さい。（ご注文時）

試料吸着真空度の真空レギュレータによる調整機能はオプションとします。

観察用モニタは東芝製9インチモノクロモニタP9MR04を使用します。
ソニー製高解像度モニタPVM-146Jはオプションです。

マスク開閉のための左右ランプハウス待避は回転移動。左右同期リンク機構付き。