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2024年03月15日

超小型試料対応 裏面観察マスクアライナー 新型BA100発売のお知らせ

新型BA100を発売開始しました。お待たせしました。
従来型のBA100、BA100i、BA160は2023年6月に生産終了となっておりました。

裏面観察マスクアライナー BAシリーズでは最も小型のモデルになります。先行リリースしていた新シリーズ BA200、BAS200に続いての登場です。

アライメント顕微鏡の左右対物レンズが近接可能で小型試料のアライメントに対応します。上側顕微鏡で通常の表面アライメントの場合、左右間隔8~100mmで超小型試料に対応します。下側顕微鏡の裏面アライメントの場合でも左右間隔15~100mmで20mm程度の小型試料に対応可能です。
新型BA200同様、メガピクセル対応のアライメント光学系、ピンチイン/アウト可能なタッチパネルディスプレイや真空コンタクト機能を搭載しています。

詳しくは製品ページへジャンプ。