大型試料用 裏面観察マスクアライナー BAシリーズ発売のお知らせ。
φ8インチ試料対応機 BA200 および 200mm角試料対応機 BAS200を発売しました。
BA200およびBAS200は新型BAシリーズとなります。
メガピクセル対応のアライメント光学系および画像処理装置を搭載しています。
詳しくは製品ページへジャンプ。
今後、従来のBA100（φ4インチ試料対応）およびBA160（φ6インチ試料対応）もモデルチェンジの予定です。
2023年6月22日 追記
BA100、BA100i、BA160は生産終了となりました。