MASK ALIGNER EA100
- 最大試料サイズφ100mm（φ4インチ）、最大マスクサイズ□5インチに対応。
- Deep UV 200Wランプ（230nm～350nm付近の深紫外域）光源搭載。
通常のUV（g、h、i線） 超高圧水銀ランプ250W光源の搭載も可能です。 - 自動平行調整、コンタクト原点サーチ機能装備。
球面フローティング機能で高精度なレベル調整（平行出し）が可能。試料、マスク直接接触のほ
か、ボール介在コンタクトにも対応します。
ボール介在コンタクトは専用マスクホルダが必要になります。 - 自動ギャップ調整機能装備。アライメント／プリントギャップ独立設定。
マニュアル微調整、ティーチング機能も装備。 - 高精度コンタクト圧力制御機能装備。
- マスクと試料の密着性を向上させる真空コンタクトや試料吹上コンタクトなど4つの露光モードに対応。
① 指定圧力コンタクト（ ソフトコンタクト含む）
② 試料吹上ハードコンタクト
③ 真空コンタクト 真空コンタクトは専用試料台が必要になります。
④ プロキシミティ（ギャップ） - 本体小型デザイン。
- 規格外サイズ特殊試料などご使用条件に合わせた各種カスタムホルダ製作も承ります。
- 圧力センサ＋ACサーボモータードライブ式Ｚ軸機構。
