|
特徴
◆ コリメータレンズ方式 250Wランプハウス
◆ ズーム式実体顕微鏡装備。
◆ 高精度マニュアルＸＹＺθ軸アライメントステージ。
◆ 球面摺動式レベル調整機構。
◆ 最大φ４インチウェハ対応。（有効露光エリア 約φ80ｍｍ）
◆ 顕微鏡とUV光源露光の切り替えが便利なスイング方式支持。
◆ デザインルール2～3μm。
◆ コンパクト、ローコスト。
《オプション》
◆ マスクと試料間のギャップ設定が正確にできるギャップ測長センサー＆表示器。
◆ マスクと試料の密着性を高める試料吹上コンタクト機能。
◆ 真空ポンプ
仕様
- 形式 等倍片面露光式マスクアライメント装置
- 型名 ES410
- 露光方式 １：１等倍露光、 コンタクトおよびプロキシミティ（手動ダイヤル式）
- 適応試料 サイズ 最大 φ４インチ（露光エリアφ80mm）、t=2mm程度
SEMI、JEITA 規格ウェハなど。各サイズとも試料台交換にて対応。
- 適応マスク サイズ 最大 □5インチ（127mm）、t=0.09インチ（3mm）
ガラスサブストレート規格マスクなど。各サイズともマスクホルダ交換にて対応。
- マスクアライメントステージ（マスク固定、ウェハ移動）
Ｘ軸、Ｙ軸 微動・粗動 ハンドル
Ｚ軸 粗動 ダイヤル、微動 微動レバー
Ｚ軸位置測定 測長器 分解能１μｍ（オプション）
θ軸 微動
レベル調整 球面摺動方式 手動 真空吸着固定
- UV光源
光学形式 コリメータレンズ式
有効露光範囲 約φ80ｍｍ
照度均一度 ±10％以内
主波長 λ＝365､405､436nm
使用ランプ超高圧 Hgランプ250Ｗ
放射強度 約６ｍＷ／ｃ㎡以上（at 365nm）
露光解像度 ライン＆スペース 2～3μｍ程度
露光できる最小線幅はご使用になるレジスト、マスク、ウェハ、露光前後工程等の諸条件により異なる場合があります。
露光量設定 タイマー設定
- 顕微鏡 ズーム式実体顕微鏡
総合倍率 7～45倍 * 接眼レンズの交換、補助対物レンズの付加にて変更可能
視野範囲 φ8mm～φ5.1mm
観察照明 150W ハロゲン光源＋リングファイバー照明
- 制御
露光量設定 UV光源電源装置の内蔵タイマーによる時間設定
真空制御 マスク、試料、球面摺動部の真空ロックは手動ハンドバルブ
空圧制御 オプションの試料吹上コンタクト機能付きの場合は電磁バルブ制御
- 寸法、重量 700(H)×460(W)×540(D)mm * 突起部含まず、約100Kg
- ユーティリティ
電源 AC100V 10A MAX.
真空 26.6 kPa 以上 35リットル/分 以上 * 真空ポンプ（オプション）
ドライエア 不要。
但しオプションの試料吹上コンタクト機能付きではクリーンドライエアまたは窒素
0.1 MPa以上
|
