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試料裏面観察マスクアライナー |
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BA200 φ8インチ試料対応
BAS200 □8インチ試料対応
選択オプションにより一部仕様が異なります。 |
| BAシリーズは従来の片面露光装置では困難な試料表裏パターンの精密な位置合わせが可能なマニュアル操作のマスクアライメント装置です。本装置では試料の第１面に予め形成されたアライメントマークに対して、その対面（第２面）の指定された位置にマスクパターンを位置決め、露光できます。通常の片面露光マスクアライナーとしても使用できMEMS、発光デバイス、通信デバイス、発振デバイスなど両面露光プロセスを幅広く支援します。
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